Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik (Teubner Studienbücher Technik)
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- Synopsis
- Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.
- Copyright:
- 2002
Book Details
- Book Quality:
- Publisher Quality
- ISBN-13:
- 9783658234447
- Publisher:
- Springer Fachmedien Wiesbaden
- Date of Addition:
- 12/13/18
- Copyrighted By:
- Springer
- Adult content:
- No
- Language:
- German
- Has Image Descriptions:
- No
- Categories:
- Nonfiction, Technology
- Submitted By:
- Bookshare Staff
- Usage Restrictions:
- This is a copyrighted book.