Technologien der Mikrosysteme (1. Aufl. 2022)
By:
Sign Up Now!
Already a Member? Log In
You must be logged into Bookshare to access this title.
Learn about membership options,
or view our freely available titles.
- Synopsis
- Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.
- Copyright:
- 2022
Book Details
- Book Quality:
- Publisher Quality
- ISBN-13:
- 9783658374983
- Related ISBNs:
- 9783658374976
- Publisher:
- Springer Fachmedien Wiesbaden
- Date of Addition:
- 02/01/23
- Copyrighted By:
- Der/die Herausgeber bzw. der/die Autor
- Adult content:
- No
- Language:
- German
- Has Image Descriptions:
- No
- Categories:
- Nonfiction, Science, Technology
- Submitted By:
- Bookshare Staff
- Usage Restrictions:
- This is a copyrighted book.