Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik (6. Aufl. 2014)
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- Synopsis
- Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. In der 6. Auflage ...
- Copyright:
- 2014
Book Details
- Book Quality:
- Publisher Quality
- ISBN-13:
- 9783834820853
- Related ISBNs:
- 9783834813350
- Publisher:
- Springer Fachmedien Wiesbaden
- Date of Addition:
- 12/21/23
- Copyrighted By:
- Springer
- Adult content:
- No
- Language:
- German
- Has Image Descriptions:
- No
- Categories:
- Nonfiction, Technology
- Submitted By:
- Bookshare Staff
- Usage Restrictions:
- This is a copyrighted book.